微電子和電子學(xué)的革新導(dǎo)致了樣品越來(lái)越小,傳統(tǒng)的雙目顯微鏡也在不斷面臨挑戰(zhàn)。然而數(shù)碼顯微鏡不使用目鏡,而是用戶可直接通過(guò)顯示器進(jìn)行觀察的特點(diǎn),讓微電子的觀察效率有了很大的提高。
控制(QC/QA)或開(kāi)發(fā)(R&D)時(shí),一些微電子器件的生產(chǎn),如硬盤驅(qū)動(dòng)器,要求對(duì)其各個(gè)部件進(jìn)行檢查和質(zhì)量控制,全尺寸:從宏觀(>2毫米)->介觀尺度(10mm~25μm)->微觀尺度(1000μm~500nm)->納米尺度(<500nm)。需要使用數(shù)碼顯微鏡對(duì)零件快速進(jìn)行大視野成像,以及精準(zhǔn)的尺寸計(jì)量。從而滿足更快的改進(jìn)制作規(guī)范以及生產(chǎn)需求,優(yōu)化整個(gè)工作流程。使用徠卡DVM6數(shù)碼顯微鏡的以下性能,可快速得出檢查的可靠結(jié)果。本報(bào)告的重點(diǎn)將是大視野、測(cè)量功能及傾斜角度(下述紅色字體部分)。
自動(dòng)跟蹤和存儲(chǔ)的可重復(fù),顯微鏡最重要的硬件參數(shù)可記憶(編碼),例如,使用的倍數(shù),照明和相機(jī)設(shè)置等參數(shù)條件可快速重現(xiàn);
超大變焦范圍16:1,鏡頭切換支持熱插拔;
二維尺寸測(cè)量及三維尺寸測(cè)量
快速角度旋轉(zhuǎn),傾斜角度不同視角觀察樣品;
集成LED(發(fā)光二極管)環(huán)形光和同軸光,具有多方向的照明模式;
數(shù)字快照和數(shù)字10MP的數(shù)碼相機(jī),高畫(huà)質(zhì)成像;
XY拼圖功能和Z軸掃描成像功能,可拍攝大范圍大景深的圖像;
徠卡DVM6數(shù)碼顯微鏡滿足微觀尺寸(10mm~500nm)的觀察,例如在電子零件領(lǐng)域用于測(cè)量硬盤驅(qū)動(dòng)器上零件通孔的直徑、周長(zhǎng)和深度分布,以及焊點(diǎn)的長(zhǎng)度、面積和高度分布。
硬盤驅(qū)動(dòng)器圖示
總結(jié)
微電子和電子工業(yè)與日俱增,需要更快更便宜的設(shè)備生產(chǎn),同時(shí)滿足不斷提高產(chǎn)品規(guī)格的要求。從而導(dǎo)致制造商的工作流程變得更為復(fù)雜,對(duì)工作流程的效率要求也越來(lái)越高。DVM6數(shù)碼顯微鏡無(wú)目鏡,直接觀察顯示器的特點(diǎn)以及符合人體工學(xué),無(wú)論是在產(chǎn)品創(chuàng)新、研究和開(kāi)發(fā)(R&D)、生產(chǎn)、質(zhì)量控制與保證(QC/QA)或失效分析(FA),都能大大提高工作效率,減少成本增加效益。
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